CVD方法對(duì)涂布機(jī)生產(chǎn)廠家在涂層上的研究和優(yōu)化
信息來(lái)源: | 發(fā)布日期:
2016-12-14
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關(guān)鍵詞:涂布機(jī)生產(chǎn)廠家CVD方法優(yōu)化
在20世紀(jì)初,德國(guó)化學(xué)家Griesheim-Elektron以及俄羅斯化學(xué)家Ivan Ostromislensky和Fritz Klatte都試圖在商業(yè)產(chǎn)品中使用CVD,但是加工剛性,有時(shí)是脆性聚合物的困難阻礙了他們的努力。
一些科學(xué)家經(jīng)過(guò)不斷的綜合努力已經(jīng)對(duì)這種CVD方法進(jìn)行了廣泛的研究和優(yōu)化,在具有前體遞送模塊的獨(dú)特系統(tǒng)上開發(fā),所述前體遞送模塊能夠遞送適合于2D材料生長(zhǎng)的寬范圍的液體/固體/金屬有機(jī)前體。在包括ALD氧化鋁(Al2O3和SiO2)的一系列襯底上提供生長(zhǎng),該系統(tǒng)能夠沉積其他2D過(guò)渡金屬二硫?qū)倩铮═MDCs),如WS2,MoSe2等。
“等離子體處理系統(tǒng)的2D材料處理能力進(jìn)入一個(gè)新階段,”這種工藝開發(fā)及其成熟的結(jié)果對(duì)所有的涂布機(jī)廠家都可以說(shuō)是一件非常令人興奮的事,“等離子體技術(shù)戰(zhàn)略營(yíng)銷和業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)說(shuō)道,”分析高質(zhì)量的單層,用AFM顯示所得的平滑和均勻的膜。我們預(yù)計(jì),這種2D材料增長(zhǎng)的發(fā)展將促進(jìn)下一代納米電子器件。
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